发布时间:2021-05-23 热度:
本报上海3月17日电(中青报·中青网记者 邱晨辉)记者本日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下电科装备已乐成实现离子注入机全谱系产物国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式办理方案。
离子注入机是芯片制造中的要害装备。电科装备持续打破大流强长命命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技能,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段包围至28nm,海南代理记账,海南代理记账,累计形成焦点发现专利413项,实现我国芯片制造规模全谱系离子注入机自主创新成长,有效缓解我国芯片制造规模断链、短链困难。
来自中国电科的动静称,海南公司注册,下一步,电科装备将对准高端,紧跟先进工艺成长,加速推进合用于更先进工艺节点离子注入机的研发及财富化。
2021年03月18日 07 版
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