本报上海3月17日电（中青报·中青网记者 邱晨辉）记者本日从中国电子科技集团有限公司获悉，该集团旗下电科装备已乐成实现离子注入机全谱系产物国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式办理方案。

　　离子注入机是芯片制造中的要害装备。电科装备持续打破大流强长命命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技能，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段包围至28nm，海南代理记账，海南代理记账，累计形成焦点发现专利413项，实现我国芯片制造规模全谱系离子注入机自主创新成长，有效缓解我国芯片制造规模断链、短链困难。

　　来自中国电科的动静称，海南公司注册，下一步，电科装备将对准高端，紧跟先进工艺成长，加速推进合用于更先进工艺节点离子注入机的研发及财富化。

　　2021年03月18日 07 版